Console para Dosagem e Controle de Gases


Figure: Console de gases. Na parte superior observam-se os controles eletrônicos.

Em diversas aplicações tais como deposição de filmes finos (metálicos e dielétricos), nitretacao a plasma, chemical vapor deposition, etc., e necessário a distribuição, dosagem e alimentação de gases durante o processo. O Plasma LIITS oferece uma consola standard para este tipo de tarefa que consta de controladores de fluxo de massa para cinco gases e sua eletrônica associada, válvulas pneumáticas o de solenóide para controle remoto com microcomputador via Controlador Lógico Programável (Figure 7). O sistema esta construída totalmente com tubos de 5mm diâmetro, aço inox 316, e uniões tipo VCR para alto vácuo. A consola de gases possui reguladores de baixa pressão em aço inox, localizado na própria consola entanto que à parte de reguladores de alta pressão e remota, permitindo manter os cilindros fora do lugar de trabalho, facilitando manuseio e dando segurança. O conjunto este montado em um rack metálico de alta qualidade, porta de vidro temperado, com possibilidades de expansão e agradável aparência.